本发明涉及彩色滤光片制作技术领域，尤其涉及一种上海跃进HZK-55真空干燥箱装置、系统及真空干燥方法。

背景技术：

在CF(Color Filter，彩色滤光片)制程中，玻璃基板上涂覆光阻剂后，需要进行干燥，而普通的干燥工艺会由于光阻剂里的空气被高温释放而在光阻剂表面形成许多针孔状的凹凸构造，造成产品不合格。

而VCD(Vacuum Dry，即真空干燥)工艺可以避免此类现象发生，在CF制程中起着重要作用。光阻剂主要由树脂(Resin)、感光剂(Sensitizer)及溶剂(Solvent)等不同的成分混合而成，VCD工艺的主要作用是将光阻成分中的溶剂利用抽压的方式进行抽取完成初步干燥，然后利用HP(Hot Plate，加热板)、CP(Cold Plate，冷却板)完成后续制程。

目前的VCD工艺中，业界通常采用具有pin(即顶针)的支撑台支撑玻璃基板，然而，由于玻璃基板上的光阻与pin之间的温差敏感性导致玻璃基板上与pin接触的部位出现pin Mura(色泽不均)，而且，由于众多pin以固定的间距阵列设置在支撑台上，当玻璃基板规格出现变化时，难免会有更多的pin出现在不该出现的部位，出现更多的pin Mura现像