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上海跃进微电子光刻实验净化工作台设计

[导读]提出了一种导流分压式双正压净化工作台。分析了上海跃进医疗器械有限公司工作台的结构特征及工作原理。通过与常规垂直层流净化工作台的比较及实验结果分析,指出了该产品的经济性、优越性及应用前景。

众所周知,上海跃进S.SW-CJ-1FD净化工作台是一种创造局部100级无尘、无菌环境的理想设备。它移动灵活、操作简单,被广泛地用于电子、航空航天、精密机械、生物工程、医疗、制药及无菌检验等多个领域。在大学物理、电子及化学、生物等多个学科实验中,净化工作台发挥了十分重要的作用。特别是半导体物理、微电子等实验,需要高洁净度的实验环境才能完成实验内容。但是,普通的净化工作台在完成这些实验中是不十分适用的。这主要表现在两个方面:一是在实验中会由于实验人员实验操作而带入大量的灰尘颗粒,影响了净化工作台的净化级别;二是在涉及大量化学试剂的实验中,如果使用的化学试剂和药品具有一定的挥发性和毒性,如微电子实验中的光刻胶、去胶剂等,现有的净化工作台基本上无法阻止这些有毒化学药剂向大气中扩散,这给实验人员带来了身体上的伤害。

为了解决以上两个问题,一种新型上海跃进S.SW-CJ-1F净化工作台被设计出来。制作完成后,实验表明,该净化工作台可以有效地阻挡有毒化学物质,减少实验人员带入工作台工作区的灰尘颗粒数量,改造成本极为低廉几乎不增加任何制造成本。


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